研究設備｜神奈川工科大学電気電子情報工学科ウェブサイト

電気電子情報工学科の研究設備はとても充実しています。独創的なアイデアと充実した研究設備を駆使して、高いレベルの研究に取り組めます。

FTIR	ガスクロマトグラフ質量分析計

クリンルームRIE装置	スキャニングモビリティパーティクルサイザー

三元スパッタ装置	熱化学蒸着装置

板子研究室設備【太陽電池模擬電源装置1kW 日本カーネル社製】

	マルチターゲットスパッタリング装置

５F：超高速光機能回路室（測定室）
２F：ナノテクノロジー室（クリーンルーム）

○加工室...	クラス：～100,000 金属、誘電膜、磁性膜などの成膜およびエッチング加工
○分析室...	クラス：～10,000 熱処理、基板処理、寸法および形状評価、特性評価
○ホト室...	クラス：～1,000 基板処理、表面観察、紫外線露光、電子線描画

光導波路デバイス　特性測定評価システム

２次元複屈折評価システム　WPA-micro

光偏光解析システム

ネットワークアナライザ

誤り率測定システム

シミュレータ

○Beam Prop...BPM法による導波路伝搬解析　
○VirtualLab...反復フーリエ変換法による回析光学素子の特性解析　
○CodeV...光学設計ツール　